Elektronenstrahlschreiber

Elektronenstrahlschreiber
m <el.ic.prod> ■ electron-beam printer
m ugs <ic.prod> (zur Wafer-Belichtung) ■ scattering with angular limitation projection electron lithography (SCALPEL) Bell Labs

German-english technical dictionary. 2013.

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  • Photolithograph — Die Photolithographie bzw. Fotolithografie ist ein lithografisches Reproduktionsverfahren, bei dem mittels Belichtung Muster auf Materialien aufgebracht werden. Sie ist in der Drucktechnik und der Halbleitertechnik von Bedeutung.… …   Deutsch Wikipedia

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